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- フランジ締め付け手順及びトルク値
目次
このページでは、真空環境で使用されるフランジのボルト締め方法をはじめ、必要なトルク値などを分かりやすくまとめています。正しく安全にフランジを固定するための手順を知りたい方は、ぜひご覧ください。
フランジのボルト締め手順
- 手でボルトを軽く締め付ける。
- 全てのボルトを対角に締付けていく。その際、ボルトを目標締付けトルクではなく、段階的に均等に締付ける。（例 目標締付けトルクの20%→50%→80%）
- 対角線上の順番に増し締めを繰り返す。その際、フランジ同士の隙間を対角に4か所測り、片締めになっていないことを確認する。
- 最後に時計回りに1周して締め付け緩みがないか確認する。（例：８本の場合①→⑤→③の順）
6本の場合
8本の場合
12本の場合
16本の場合
24本の場合
パネルマウント4本の場合
トルク値の表
| 種類 | サイズ | ボルト | 締め付けトルク（N・m） |
|---|---|---|---|
| ICF(銅ガスケットの場合） | 34 | M4 | 2 ～ 3 |
| 54 | M5 | 6 ～ 8 | |
| 70 | M6 | 6.9 ～ 9.8 | |
| 114 ～ 253 | M8 | 9.8 ～ 14.7 | |
| VF/VG | 10 ～ 50 | M8 | 12 |
| 65 ～ 150 | M10 | 20 | |
| 200 ～ 350 | M12 | 25 | |
| 400 ～ 550 | M16 | 32 |