真空部品 約8000種類 を常時在庫17時当日出荷は(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
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表面研磨とは、チャンバー内部が凸凹になっているとその隙間に入り込んだガスが放出ガスとなってしまい真空度が良くならない原因になるため、凹凸を除去するために行うもの。 研磨紙を当てて行う表面研磨から電気化学的な研磨と研磨材による物理的研磨(表面を物理的に削る)を複合して同時に行う電解研磨などがある。