半導体、有機EL 、液晶パネル等製造装置や超高真空のアプリケーション において、
汚染やパーティクルのないクリーンな真空は必要不可欠です。
クリーンルーム内に製品を持ち込む際や、目に見えないレベルの汚染、パーティクルを
除去する際に、通常の洗浄だけではなく精密洗浄が必要となります。
コスモ・テックの真空部品も精密洗浄の依頼を受けることが多く、新たに、精密洗浄受託サービスを開始しました。クリーンルーム内で精密洗浄・真空梱包を行います。精密洗浄以外に真空中でのガス放出を抑える目的の、真空ベーキング処理も別途オプションで対応可能です。
対応材質
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・金属類(ステンレス、インコネル、アルミ、インバー、タンタル、銅・銅合金、モリブデン、チタン、べスペル、パーマロイ、ハステロイ、ニッケルなど)
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・セラミックス類(アルミナなど)
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・樹脂類
その他の材質については、お気軽にご相談ください。