真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付（営業時間9:00〜18:00 土日祝除く）
- web会議をご希望の方
- 東京 03-3270-5761 大阪 06-6131-4751
- お問い合わせ
- よくある質問
製品カテゴリ
-
フィードスルー
-
絶縁碍子
-
ビューポート
-
真空配管部品
-
真空バルブ
-
真空用穴付きねじ
-
その他
- クイックオーダー
- CAD・カタログ
- 会社情報
- 真空部品通販ならコスモ・テック
- 真空バルブ/リークポート（リークバルブ）
- 真空バルブ（NW / KF規格）
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
- 真空部品通販ならコスモ・テック
- 真空配管部品
- NW/KF規格
- バルブ
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
- 真空部品通販ならコスモ・テック
- 限定品
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
- 真空部品通販ならコスモ・テック
- 真空配管部品
- バルブ/リークポート/リークバルブ
- バルブ
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
- 真空部品通販ならコスモ・テック
- 真空バルブ/リークポート（リークバルブ）
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
- 真空部品通販ならコスモ・テック
- 真空配管部品
- バルブ/リークポート/リークバルブ
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
- 圧空式ソフト排気用アングルバルブ
圧空式ソフト排気用アングルバルブ
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
| 基本情報 | |
|---|---|
| リークレート | <1x10-7Pa･ℓ/sec |
| 使用可能圧力 | 10-6 Pa ～0.5Mpa |
| プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
| プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
| バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 使用可能温度（ボディ） | 150 ℃ |
| 使用可能温度（アクチュエーター） | 120 ℃ |
| 使用可能温度（ポジションインディケーター） | 70 ℃ |
| ボディ | SUS 316 |
| プレート | SUS 316 |
| ベローズ | SUS 316 |
| ボンネットシール | FKM(Viton®) |
| ポジションインディケーター（接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
2 件の型式候補があります
※製品コード・型式をクリックいただくと、ご覧いただけます。
製品コード 型式 |
NW/KF | 在庫・納期 |
単価 (税込) |
|---|---|---|---|
| 40 |
欠品時
別途回答
|
258,000円
（税込283,800円）
|
|
| 50 |
欠品時
別途回答
|
309,000円
（税込339,900円）
|
