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真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品
製品 35件 (21 ～35 件)
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製品コード ：27435
型式 ：NW40DA2IYV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 130 L（長さ） 112 分類 圧空（複作動） 形状 Y型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 100℃ -
製品コード ：27436
型式 ：NW50DA2IYV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 160 L（長さ） 134 分類 圧空（複作動） 形状 Y型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 100℃ -
製品コード ：27406
型式 ：ICF34MIYV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 119 D 60 E 70 L（長さ） 100~110 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール 無酸素銅 最高温度 200℃ -
製品コード ：27407
型式 ：ICF70MIYV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 70 A 133 D 60 E 86 L（長さ） 117~134 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール 無酸素銅 最高温度 200℃
-
製品コード ：27408
型式 ：NW16MIZV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 54.6 B 28.5 C 47.4 D 60 E 60.6 L（長さ） 132~146 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27409
型式 ：NW25MIZV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 51.6 B 34.8 C 53.7 D 60 E 60.6 L（長さ） 134~148 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27410
型式 ：NW40MIZV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 61 B 47.8 C 73.6 D 60 E 76.5 L（長さ） 164~189 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27411
型式 ：NW50MIZV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 86.4 B 66.6 C 104.7 D 60 E 84.6 L（長さ） 209~243 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃
-
製品コード ：27412
型式 ：ICF34MIZV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 55.2 B 28.5 C 47 D 60 E 60.6 L（長さ） 132~146 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27413
型式 ：ICF70MIZV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 70 A 62.5 B 47.8 C 73.6 D 60 E 76.5 L（長さ） 164~189 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：20666
型式 ：NW16MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 30 L（長さ） 106～109 L1 84 -
製品コード ：20667
型式 ：NW25MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 40 L（長さ） 111～114 L1 84
-
製品コード ：20652
型式 ：ICF34MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 34 L（長さ） 108～111 L1 102 -
製品コード ：60246
型式 ：NW40PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 40 -
製品コード ：60237
型式 ：NW50PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 50
