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真空配管部品 CeFiX®システム 製品一覧 真空配管部品
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リンク ステンレス ストラップ ステンレス ノブ／ナット SUS クランピングスクリュー ステンレス クランピングボルト ステンレス 最高温度 315℃ 最低温度 -270℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 対応シール アルミ/無酸素銅/ニッケル 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 △ 締付方法 トルクレンチ RoHS2対応 ○ -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ -
最高温度 450℃ 最低温度 -270℃ 使用可能圧力 10<sup>-9</sup> Pa 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ -
最高温度 450℃ 最低温度 -270℃ 使用可能圧力 10<sup>-9</sup> Pa 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS316L/SUS304(CeFlX®/ICF) 最高温度 450℃ 最低温度 -270℃ 使用可能圧力 10<sup>-9</sup> Pa RoHS2対応 ○
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フランジ材質 SUS（329J3L） 窓 ホウケイ酸ガラス 最高温度 280℃ 最低温度 -20℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○
