真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
▼ガラスフランジ(ビューポート)
・内部を容易に観察できるので、プラズマ、高温用途での制御に好適
・全面ガラス面のため有効径が広い
・真空 10-7Pa 台に対応
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ
・最高使用温度:Duran® 450℃,石英 1000℃
※センターリングの使用温度にご注意ください(200℃程度)
▼以下のタイプが規格化されています
・Duran®フランジ:可視用。紫外光を遮蔽することが可能です
・石英フランジ:紫外光を透過させるのに最適です
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ
▼ガラス製品用接続部品
・センターリングはガラスーガラス接続用、ガラスー金属接続用ともにこちらよりご確認いただけます
※金属用、ガラス用でそれぞれ厚みが異なります
・樹脂クランプはこちらよりご確認いただけます
※締結時はトルクのかけすぎにご注意ください
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
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対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 160 |
フランジ材質 | 石英 |
窓 | 溶融石英 |
A | 190 |
T(ガラス厚) | 11 |
V(有効径) | 153 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |