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真空配管部品 ICF規格 製品一覧 真空配管部品
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鉛当量（mmPb) 1.5 熱膨張係数（/℃） 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) 軟化点（℃） 585 曲げ強度（MPa） 25 ヤング率（GPa） 63 ポワソン比 0.24 ヌープ硬度 370 屈折率（Na-D線） 1.71 -
主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
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使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く -
フランジ材質 SUS 304 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec RoHS2対応 ○
