使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
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リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
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フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |