真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付（営業時間9:00〜18:00 土日祝除く）
- web会議をご希望の方
- 東京 03-3270-5761 大阪 06-6131-4751
- お問い合わせ
- よくある質問
-
フィードスルー
-
絶縁碍子
-
ビューポート
-
真空配管部品
-
真空バルブ
-
真空用穴付きねじ
-
その他
- クイックオーダー
- CAD・カタログ
- 会社情報
- 真空部品通販ならコスモ・テック
- 真空配管部品
- ICF規格
- 真空配管部品 バルブ
真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品
製品 38件 (21 ～38 件)
- 表示件数
- 表示切替
-
製品コード ：27435
型式 ：NW40DA2IYV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 130 L（長さ） 112 分類 圧空（複作動） 形状 Y型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 100℃ -
製品コード ：27436
型式 ：NW50DA2IYV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 160 L（長さ） 134 分類 圧空（複作動） 形状 Y型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 100℃ -
製品コード ：27406
型式 ：ICF34MIYV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 119 D 60 E 70 L（長さ） 100~110 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール 無酸素銅 最高温度 200℃ -
製品コード ：27407
型式 ：ICF70MIYV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 70 A 133 D 60 E 86 L（長さ） 117~134 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール 無酸素銅 最高温度 200℃
-
製品コード ：27408
型式 ：NW16MIZV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 54.6 B 28.5 C 47.4 D 60 E 60.6 L（長さ） 132~146 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27409
型式 ：NW25MIZV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 51.6 B 34.8 C 53.7 D 60 E 60.6 L（長さ） 134~148 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27410
型式 ：NW40MIZV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 61 B 47.8 C 73.6 D 60 E 76.5 L（長さ） 164~189 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27411
型式 ：NW50MIZV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 86.4 B 66.6 C 104.7 D 60 E 84.6 L（長さ） 209~243 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃
-
製品コード ：27412
型式 ：ICF34MIZV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 55.2 B 28.5 C 47 D 60 E 60.6 L（長さ） 132~146 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：27413
型式 ：ICF70MIZV▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状：L型，Y型，Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 70 A 62.5 B 47.8 C 73.6 D 60 E 76.5 L（長さ） 164~189 分類 手動 形状 Z型 ボンネットシール バイトン® 最高温度 200℃ -
製品コード ：20666
型式 ：NW16MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 30 L（長さ） 106～109 L1 84 -
製品コード ：20667
型式 ：NW25MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 40 L（長さ） 111～114 L1 84
-
製品コード ：20652
型式 ：ICF34MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 34 L（長さ） 108～111 L1 102 -
製品コード ：26551
型式 ：ICF70VLV▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気～10⁻⁸Pa 程度)
・用途：スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET：ICF70ポート
・ガスINLET：ICF34ポート
・調節可能最小リーク量：6.7ｘ10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金 ICF 70 ガスINLET側 Φ8 -
製品コード ：60240
型式 ：ABS050KSLOS1▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く NW/KF 50 DN（内径） 50 タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ SUS 304 インターフェイス Logic パワーオプション SPS センサー数 1 -
製品コード ：60241
型式 ：ABS100FAR3B2▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く ISO-F 100 DN（内径） 100 タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ アルミ インターフェイス RS232+Analog Output パワーオプション Basic センサー数 2
-
製品コード ：60242
型式 ：ABN040KSR3B2▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く NW/KF 40 DN（内径） 40 タイプ バルブ部Viton®なし ボディ SUS 304 インターフェイス RS232+Analog Output パワーオプション SPS センサー数 2 -
製品コード ：60243
型式 ：ABN100FSR4B1▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く ISO-F 100 DN（内径） 100 タイプ バルブ部Viton®なし ボディ SUS 304 インターフェイス RS485 パワーオプション Basic センサー数 1
