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圧空式ソフト排気用アングルバルブ 製品一覧 真空バルブ/リークポート（リークバルブ）
サブカテゴリ 1件 (1 ～1 件)
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リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
製品 2件 (1 ～2 件)
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製品コード ：60246
型式 ：NW40PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 40 -
製品コード ：60237
型式 ：NW50PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 50
