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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
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使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
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バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |