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特注チャンバー 製品一覧 真空配管部品
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製品コード ：28032
型式 ：CVCC305AAΦ254 L=390筒です。上下はICF305のパイプを取り付けています。
ICF253のフランジにビューポートを取り付ける予定です。
その他のポートは以下の通り。
ICF114：3個
ICF152：1個
ICF203：1個
ICF253：1個
NW25 ：6個
NW40 ：4個
内面はバフ400、外面はバフ#200です。内面処理 バフ400（Ra1.0）相当 主要材質 SUS 304
