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真空配管部品 ガスケット/センターリング/Oリング 製品一覧 真空配管部品
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インナーリング SUS 316L シール/ガスケット材質 バイトン® 最高温度 200℃ 最低温度 -20℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec 非磁性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ 加圧 △ -
インナーリング テフロン® シール/ガスケット材質 バイトン® 最高温度 200℃ 最低温度 -20℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ RoHS2対応 ○ -
シール/ガスケット材質 アルミ 最高温度 150℃ 最低温度 -270℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec 加圧 - 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 △ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ -
シール/ガスケット材質 バイトン® 最高温度 200℃ 最低温度 -20℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec 加圧 ○ 非磁性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○
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アウターリング テフロン® インナーリング テフロン® 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ RoHS2対応 ○ -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○
