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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa 対応シール 専用エラストマーシール 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ RoHS2対応 ○
