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タイプ 光ファイバー ファイバー 石英 リークレート <5.5x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec 参考耐圧値(MPa) 1 主要材質 SUS 304 絶縁体 エポキシ 接続タイプ FC/PC RoHS2対応 ○ -
タイプ 高電圧・低電流 電極 SUS 316L フランジ材質 SUS 316L スリーブ コバール® 絶縁体 アルミナセラミック 最高温度 450℃ 最低温度 -196℃ リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 耐電圧: DC 30 kV 電流/1本 3 A 電極数 1 フィードスルー 30kV / 3A -
タイプ SMA 接続タイプ 真空側・大気側プラグ嵌合 電極 コバール® フランジ材質 SUS 304 スリーブ コバール® 絶縁体 アルミナセラミック 最高温度 450℃ 最低温度 -196℃ リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 分類 フランジ付き端子 種類 グランドシールド インピーダンス 50 Ω 周波数 15 GHz（参考値） 絶縁抵抗値 10⁹ ohm 耐電圧: DC 1 kV 電流/1本 3 A RoHS2対応 ○
