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最高温度 80℃(複作動)、200℃(その他) 使用可能圧力 600 kpa~ 1.33x10-5 kpa リークレート <1.0x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec 主要材質 SUS 316(複作動）、SUS316L（その他） 接面材質 SUS 316(複作動）、SUS316L（その他） シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm
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シェル A5052 + Niメッキ 絶縁体 PEEK® 最高温度 100℃ 最低温度 -196℃ RoHS2対応 ○ 真空・大気 真空用
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ネジ SUS 絶縁体 PEEK® 最高温度 250℃ リークレート <1.0x10<sup>-8</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ 真空・大気 真空用
