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使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く -
リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 150℃(ボディ)、80℃(全体) タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ SUS 304 -
タイプ 高電圧・高電流 電極 無酸素銅 フランジ材質 SUS 304 スリーブ コバール® 絶縁体 アルミナセラミック 最高温度 450℃ 最低温度 -196℃ リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 絶縁抵抗値 10⁹ ohm 耐電圧: DC 5 kV 電流/1本 110 A フィードスルー 5 kV / 110 A -
リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
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タイプ 高電圧・高電流 電極 無酸素銅 フランジ材質 SUS 304 スリーブ コバール® 絶縁体 アルミナセラミック 最高温度 450℃ 最低温度 -196℃ リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 絶縁抵抗値 10⁹ ohm 耐電圧: DC 6 kV 電流/1本 145 A フィードスルー 6 kV / 145 A -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
