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タイプ | 絶縁フランジ |
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スリーブ | コバール® |
絶縁体 | アルミナセラミック |
最高温度 | 300℃ |
最低温度 | -196℃ |
リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 350℃ |
リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS(329J3L) |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 280℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
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対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
鉛当量(mmPb) | 1.5 |
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熱膨張係数(/℃) | 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) |
軟化点(℃) | 585 |
曲げ強度(MPa) | 25 |
ヤング率(GPa) | 63 |
ポワソン比 | 0.24 |
ヌープ硬度 | 370 |
屈折率(Na-D線) | 1.71 |
リンク | アルミ |
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ストラップ | SUS 316L |
ノブ/ナット | FRP |
クランピングスクリュー | SUS 316L |
クランピングボルト | アルミ |
最高温度 | 100℃ |
最低温度 | -20℃ |
RoHS2対応 | ○ |
リンク | FRP |
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ノブ/ナット | FRP |
クランピングスクリュー | ステンレス |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
対応シール | エラストマーシール専用 |
締付方法 | 手締め |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | △ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
リンク | アルミ |
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ノブ/ナット | FRP(ノブ) |
クランピングボルト | FRP |
最高温度 | 150℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
対応シール | エラストマーシール専用 |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
耐放射線性 | ○ |
耐薬品性 | △ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
締付方法 | 手締め |
RoHS2対応 | ○ |
リンク | アルミ |
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ノブ/ナット | SUS(ナット) |
クランピングスクリュー | ステンレス |
クランピングボルト | アルミ |
最高温度 | 100℃ |
最低温度 | -271℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
対応シール | エラストマーシール専用 |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
耐放射線性 | ○ |
耐薬品性 | ○ |
クリーンルーム対応 | △ |
絶縁性 | ○ |
締付方法 | トルクレンチ |
RoHS2対応 | ○ |
リンク | ステンレス |
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ストラップ | ステンレス |
ノブ/ナット | SUS(ボルト) |
クランピングスクリュー | ステンレス |
最高温度 | 350℃ |
最低温度 | -271℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
対応シール | エラストマーシール専用 |
加圧 | ○ |
耐放射線性 | ○ |
耐薬品性 | ○ |
クリーンルーム対応 | △ |
絶縁性 | ○ |
締付方法 | トルクレンチ |
RoHS2対応 | ○ |
ノブ/ナット | SUS |
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クランピングスクリュー | ステンレス |
クランピングボルト | アルミ |
最高温度 | 150℃ |
最低温度 | -270℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
対応シール | エラストマーシール/メタルシール |
非磁性 | ○ |
クリーンルーム対応 | △ |
締付方法 | トルクレンチ |
RoHS2対応 | ○ |